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半导体行业制氮机

简要描述:半导体行业制氮机:用氮气封装、烧结、退火、还原、储存。宏博变压吸附制氮机协助业类各大厂家在竞争中赢得先机,实现了有效的价值提升。

  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2023-11-21
  • 访  问  量:1340

详细介绍

半导体行业制氮机简介:

  半导体行业用氮气机,半导体行业用制氮机,半导体行业用氮气机,半导体行业用制氮机

  变压吸附的原理是在吸附平衡情况下,任何一种吸附剂在吸附同一气体时,气体压力越高,则吸附量越大,反之,压力越低,则吸附量越小。PSA制氮设备的部分是碳分子筛,在空气压力升高时,碳分子筛将大量吸附氧气、二氧化碳和水分,当压力降到常压时,碳分子筛对氧气、二氧化碳和水分的吸附量非常小。
 

半导体行业制氮机的技术指标:
流量3-3000Nm3 /h,
纯度95%-99.9999%,
压力≤0.8MPa,
露点≤-45℃.
1、压缩空气净化组件 
  空气压缩机提供的压缩空气首先通入压缩空气净化组件中,压缩空气先由管道过滤器除去大部分的油、水、尘,再经冷冻干燥机进一步除水、精过滤器除油、除尘,并由在紧随其后的超精过滤器进行深度净化。根据系统工况,优埃基气体特别设计了一套压缩空气除油器,用来防止可能出现的微量油渗透,为碳分子筛提供充分保护。设计严谨的空气净化组件确保了碳分子筛的使用寿命。经本组件处理后的洁净空气可用于仪表空气。
2、空气储罐 
  空气储罐的作用是:降低气流脉动,起缓冲作用;从而减小系统压力波动,使压缩空气平稳地通过压缩空气净化组件,以便充分除去油水杂质,减轻后续PSA氧氮分离装置的负荷。同时,在吸附塔进行工作切换时,它也为PSA氧氮分离装置提供短时间内迅速升压所需的大量压缩空气,使吸附塔内压力很快上升到工作压力,保证了设备可靠稳定的运行。 
3、氧氮分离装置 
  装有专用碳分子筛的吸附塔共有A、B两只。当洁净的压缩空气进入A塔入口端经碳分子筛向出口端流动时,O2、CO2和H2O被其吸附,产品氮气由吸附塔出口端流出。经一段时间后,A塔内的碳分子筛吸附饱和。这时,A塔自动停止吸附,压缩空气流入B塔进行吸氧产氮,对并A塔分子筛进行再生。分子筛的再生是通过将吸附塔迅速下降至常压脱除已吸附的O2、CO2和H2O来实现的。两塔交替进行吸附和再生,完成氧氮分离,连续输出氮气。上述过程均由可编程序控制器(PLC)来控制。当出气端氮气纯度大小设定值时,PLC程序作用,自动放空阀门打开,将不合格氮气自动放空,确保不合格氮气不流向用气点。气体放空时利用消音器消声使噪声小于75dBA。 
4、氮气缓冲罐 
  氮气缓冲罐用于均衡从氮氧分离系统分离出来的氮气的压力和纯度,保证连续供给氮气稳定。同时,在吸附塔进行工作切换后,它将本身的部分气体回充吸附塔,一方面帮助吸附塔升压,另外也起到保护床层的作用,在设备工作过程中起到极重要的工艺辅助作用。
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中小型制氮机,移动式制氮机,空气制氮机,原料空气制氮机。

  本公司可提供产量从3-3000Nm3/h,纯度从95%——99.9995%的氮气,可广泛应用于化工、电子、纺织、煤炭、石油、天然气、医药、食品、玻璃、机械、粉未冶金、磁性材料等行业。

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